PVD(氮化铝溅射)托盘 SIC/Si材质

SIC/ Si材质产品用途 ：

1/  北微/爱发科/牛津  设备机台  LED蚀刻托盘。

2/  应材/北微  氮化铝溅射机台  SIC材质   PVD溅射托盘。

3/  应材  氮化铝溅射机台  SI材质   PVD溅射托盘。

4/  技鼎退火炉   RTP/RTA 退火托盘。