產品描述

SIC/ Si材質產品用途 ：

1/  北微/愛發科/牛津  設備機台  LED蝕刻托盤。

2/  應材/北微  氮化鋁濺射機台  SIC材質   PVD濺射托盤。

3/  應材  氮化鋁濺射機台  SI材質   PVD濺射托盤。

4/  技鼎退火爐   RTP/RTA 退火托盤。

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